《薄膜传感器生产技术》PDF+DOC
作者:王志诚
单位:全国衡器工业信息中心
出版:《衡器》1996年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHEQI1996040030
DOC编号:DOCHEQI1996040039
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本文介绍一种采用最先进的溅射技术,利用原子结合,把薄膜涂于光滑的钢平面上,从而完成薄膜式传感器制作的方法。
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