《检测半导体基片反射率用光敏传感器》PDF+DOC
作者:刘秀云
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1984年第06期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1984060150
DOC编号:DOCYBJS1984060159
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日本技术工业公司销售一种可以准确检测各种不同反射率基片的WP-10型光敏传感器。过去,检测基片一般采用压力传感器,由于基片倾斜或因周围温度变化,致使压力发生变化,从而会引起传感器的误动作。该光敏传感器,是将来自发光二极管的光经基片反射后,由光敏晶体三极管进行检测。它解决了发光元件和受光元件之间的位置关系和控制装置电路方面的间题,反射率在10~95%范围内的基片都可以检测。传
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