作者：毛赣如,姚素英,曲宏伟,李永生 单位：天津大学 出版：《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》1997年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTJDX706.0130 DOC编号：DOCTJDX706.0139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 论述了一种新型多晶硅压力传感器．它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制作．因而，传感器具有灵敏度高和工作温度高等特点．利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模拟计算，实验结果与理论分析一致．

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