作者:方佩敏 单位:中国电子报社 出版:《电子设计技术》1997年第03期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZSJ1997030080 DOC编号:DOCDZSJ1997030089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 最新的硅加速度传感器是采用三维微细加工工艺制成的半导体器件。它包括敏感部分、电桥部分及信号处理部分,它代表当代硅加速度传感器的新技术。第二次世界大战时期,飞机上装备的加速度计是由一个能在框架里移动的质量块及两根弹簧组成,其结构示意图如图1所示。在飞行方向有加速度时,质量块在框架里移动,移动的距离与加速度成比例,由指针来指示:若用电位器的

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