作者：陈荣忠,陈莉 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1997年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1997030070 DOC编号：DOCCGQJ1997030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 声表面被气体传感器的敏感物质是在声表面波传播途径上覆盖一层具有选择性的吸附薄膜，这些薄膜在吸附对其敏感的气体物质后，质量密度，弹性参数。介电常数，导电率都将发生变化，通过理论分析，导出了该传感器的测量方程．

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