作者：薛实福,刘永生,李庆祥 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1996年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1996020030 DOC编号：DOCYBJS1996020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力的工具.由悬臂梁与探针集成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，而固有频率是其一个主要技术参数.本文介绍了一种采用光学象散原理测试原子力显微镜的力传感器固有频率测试系统的原理、组成和测试方法。

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