作者：鲍敏杭,李昕欣 单位：复旦大学 出版：《复旦学报(自然科学版)》1996年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFDXB601.0050 DOC编号：DOCFDXB601.0059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种单面构造的工作于推挽方式的微机械硅电容压力传感器．详细论述了线性化设计原理和传感器制作工艺．测试结果表明，该传感器可以将线性度提高一个量级．

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