作者：李昕欣,鲍敏杭,沈绍群 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》1996年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ602.0030 DOC编号：DOCBDTJ602.0039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高精度硅电容压力传感器的研究》PDF+DOC1996年第10期 李昕欣,张纯棣,庞世信,鲍敏杭,杨恒 《实现线性输出的单面推挽式硅电容压力传感器》PDF+DOC1996年第01期 鲍敏杭,李昕欣 《微机械差动电容压力传感器的研究》PDF+DOC2000年第12期 牛德芳,庞济,沈月婷,仲崇权,殷福亮 《压力传感器的频率输出接口》PDF+DOC2000年第03期 黄玉燕 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《频率量转换成数字量的专用集成电路》PDF+DOC1993年第05期 杨玉瑞,张树兵,陈义丁,吴慧英 《最近的半导体压力传感器》PDF+DOC1982年第03期 西原元久,宫心喜 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC2002年第04期 童志义,赵晓东 《基于MEMS的悬板式风速传感器的研制》PDF+DOC2009年第05期 韩有君,赵湛,王晓蕾,杜利东,方震 《一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试》PDF+DOC2008年第04期 黄晓东,王斌,秦明,黄庆安

    • 本文对频率输出的硅微机械结构电容压力传感器进行了研究。利用有限元程序和解析方式对岛－膜硅电容膜片进行了分析。采用硅体型微机械加工技术和集成电路兼容工艺完成了压力元件的制作。对易于ＣＭＯＳ集成的两种新颖的接口电路进行了分析和设计，提高了传感器的性能。

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