作者:董华霞 单位:云南大学 出版:《云南大学学报(自然科学版)》1997年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYNDZ702.0090 DOC编号:DOCYNDZ702.0099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 传统载体催化甲烷传感器,在甲烷浓度超过爆炸下限位后,其表面温度将接近点火温度,使自身可能成为引爆源.为解决这一潜在的不安全因素,本文通过催化性能的改善以降低起始工作温度;通过微电子学平面工艺以降低温升灵敏度,从而成功地制造出具有本安特性的平面型载体促化甲烷传感器

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