作者：周兆英,叶雄英,胡敏,尤政 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1996年第S1期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB6S1.0020 DOC编号：DOCYQXB6S1.0029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。

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