《微机电一体化与纳米技术》PDF+DOC
作者:赵玉珍,段宝岩
单位:西安电子科技大学
出版:《电子科技》1995年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZKK503.0000
DOC编号:DOCDZKK503.0009
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文中介绍了当前国际上微型机械、微型机械电子学的发展现状与趋势。提出了进行以微米、纳米技术为基础的微机电一体化新技术研究的建议。
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