作者：姚红军,汪荣昌,戎瑞芬,徐飞,金海岩 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》1997年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ701.0140 DOC编号：DOCBDTJ701.0149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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