《多层氧化物薄膜气体敏感特性的研究》PDF+DOC
作者:戴国瑞,管玉国,焦伯恒,南金,许秀来,韩征,朱勇
单位:云南大学
出版:《云南大学学报(自然科学版)》1997年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYNDZ702.0110
DOC编号:DOCYNDZ702.0119
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报道了采用PECVD方法制备多层薄膜材料,研究了不同结构薄膜材料的气敏特性,制得了具有优越性能的NOx、乙醇和TMA气体传感器
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