作者：李宝清,陆德仁,熊斌,卢平芳,何国鸿,鲍敏杭,王渭源 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》1996年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ603.0050 DOC编号：DOCGNCQ603.0059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种捷联惯性导航系统设计》PDF+DOC2016年第06期 贾炀,陆仲达,陈吉金 《对称体微机械电容加速度传感器的结构设计》PDF+DOC1998年第02期 邹强,陆德仁,王渭源 《一种加速度传感器信号处理电路》PDF+DOC1998年第05期 李相伟,吕月娥,段新昱,崔金玲 《加工对称梁岛结构的微机械加工新技术》PDF+DOC1996年第04期 陶盛,马青华 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《新型侧壁绝缘体硅微机械工艺》PDF+DOC2005年第01期 程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,张鲲,戈肖鸿,宋朝晖 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《电容式加速度传感器结构的计算机仿真》PDF+DOC2002年第06期 吝海锋,杨拥军,郑锋 《高灵敏加速度计微弱信号提取电路设计与测试》PDF+DOC 潘辉 《基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究》PDF+DOC2018年第05期 薛国芳,张培彦

    • 本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。模拟中的Ｚ向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作，利用静电悬浮原理平衡质量块，感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。对Ｃ－Ｆ转换电路的输出特性也进行了分析，该电路可用ＣＭＯＳ工艺集成在加速度传感器的周围。模拟结果表明该加速度计具有灵敏度高，抗冲击性能好的特点。

    📙 相关资料

    1. 《一种捷联惯性导航系统设计》PDF+DOC 采用加速度计和陀螺仪设计了一种捷联惯性导航系统，通过测量导航载体三个方向上的所需数据，设计导航控制算法、加速度传感器和速率陀螺仪的信号调理电路，提高了传感器数据的有效性。传感器的输出信号经由A/D转换器转换信号传递给单片机做数据处理，再将数据传送给都导航计算机，完成系统的实时导航。...
    2. 《对称体微机械电容加速度传感器的结构设计》PDF+DOC 描述了一种用无掩模各向异性腐蚀技术制造对称体微机械梁质量块加速度传感器的结构。由于梁在质量块中心对称位置上，在结构上消除了加速度传感器的横向灵敏度效应。在对四梁结构及悬臂梁结构加速度计灵敏度及固有频率进行分析的基础上，用灵敏度频率积取优值的方法进行加速度计的结构参数优化。采用了一种新颖的微力微位......
    3. 《一种加速度传感器信号处理电路》PDF+DOC 加速度传感器的输出信号经电路处理后，可获得反映被测对象运动情况的各种不同信息。本文介绍了这种信号处理电路的结构和工作原理...
    4. 《加工对称梁岛结构的微机械加工新技术》PDF+DOC 本文报道了一种用无掩模腐蚀技术加工对称梁岛结构的微机械加工技术。根据硅台阶在ＫＯＨ无掩模腐蚀下形状和尺寸的变化规律，可以设计制造出一般掩模腐蚀难以形成的微机械对称梁岛结构。由于该技术工艺简单，易于控制，为制作对称梁岛结构的硅电容加速度传感器提供了新的加工手段。...
    5. 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC 微机械加工技术是现代新型传感器技术的基础，目前它已渗透到传统的传感器领域，高性能的微机械结构传感器已出现.不仅可以制成简单的准三维结构，而且可以做成三维...
    6. 《新型侧壁绝缘体硅微机械工艺》PDF+DOC 介绍了一种全新的体硅微机械工艺，可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充，并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘。对于该工艺的原理、可能出现的问题、制作流程的摸索等进行了探讨，并且给出使用该工艺实现的一个......
    7. 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC 在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．...
    8. 《电容式加速度传感器结构的计算机仿真》PDF+DOC 针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理，应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模，并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态，1g加速度下的挠度，以及存在预应力情况下结构的第一、第二模态响应频率，得到了最优的双梁结构，并在试验中得到验证，最终研制出了高水平的......
    9. 《高灵敏加速度计微弱信号提取电路设计与测试》PDF+DOC 介绍了一种压阻式高灵敏加速度传感器微弱信号提取电路。该信号提取电路采用两级信号放大设计，两级之间设计有二阶巴特沃兹低通滤波器。本设计电路通过电路仿真软件进行仿真和外接加速度计测试。测试结果表明，该微弱信号检测提取电路可以很好地对高灵敏MEMS加速度计输出的信号进行放大，具体表现为可将传感器输出信号从......
    10. 《基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究》PDF+DOC 论证了一种基于SOI(Silicon On Insulator)片上工艺的，通过光强差分测量加速度的微光机电系统(MOEMS)加速度计。器件主要结构为较大悬浮质量块对称两端加工出两面V型反射镜。系统整个微机械结构在细直弹性梁支撑下，因受惯性力作用V型镜发生位移改变，从而将引入系统中的光信号进行差分反......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。