作者：赵晓峰,温殿忠 单位：黑龙江大学 出版：《黑龙江大学自然科学学报》2002年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLDZ2002010160 DOC编号：DOCHLDZ2002010169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2004年第07期 余丹铭,梁利华,许杨剑 《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC2003年第07期 闫利文 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《关于微机电系统研究》PDF+DOC2003年第02期 温诗铸 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润 《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC1997年第07期 赵志诚

    • 在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．

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