《红外反射法测量薄膜构件的膜厚》PDF+DOC
作者:王东生,阳运平
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》1996年第S1期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB6S1.0760
DOC编号:DOCYQXB6S1.0769
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微型机械和传感器的机械性能不仅依赖于制造工艺,而且取决于构件的尺寸。构件的薄膜厚度是影响其机械性能的参数之一,应在微加工过程中进行测量和控制。本文提出利用红外反射光谱,根据光束在薄膜上下两面反射光的程差通过计算测量膜厚度的方法。该方法测量速度快,精度高,对薄膜无破坏作用。测量范围为5~400μm,分辨率0.05μm,适于薄膜厚度的在线测量和控制。
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