作者：于梅芳,沈克强 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》1995年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ504.0280 DOC编号：DOCGTDZ504.0289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对ＣＭＯＳ流量传感器的传热特性进行了分析研究，提出在器件前后端之间采用隔热结构是提高器件灵敏度的一种有效方法，隔热槽长度是传感器灵敏度的关键参数。实验表明当隔热槽长度为１６５μｍ左右时，器件灵敏度最佳。

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