《CMOS流量传感器中传热特性的计算与分析》PDF+DOC

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2. 《世界第一款可同时测定pH和氯离子的微型传感器》PDF+DOC 比利时和荷兰的一个联合研究小组研发了世界第一款可同时测定流体中p H和氯离子(Cl-)水平的微型传感器。这种传感器或有较高的灵敏度和精度，响应时间短，且尺寸小、价格便宜。Imec和Holst中心(比利时鲁汶和荷兰埃因霍温)的研究人员相信他们拥有了世界第一款可同时测定流体中p H值和氯离子(Cl-)水......
3. 《CMOS流量传感器的传热特性分析》PDF+DOC 对ＣＭＯＳ流量传感器的传热特性进行了分析研究，提出在器件前后端之间采用隔热结构是提高器件灵敏度的一种有效方法，隔热槽长度是传感器灵敏度的关键参数。实验表明当隔热槽长度为１６５μｍ左右时，器件灵敏度最佳。...
4. 《集成扩展电阻硅流量传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种新型集成扩展电阻硅流量（ＳＲＳＦ）传感器。此结构的工作原理是基于热传导原理，即当流体流过加热芯片时，芯片两端的温差可以用于测量流体的速度。由于应用硅扩展电阻作温度敏感元，故ＳＲＳＦ传感器适用于测量温度较高的流体。理论分析和实验研究结果表明，ＳＲＳＦ传感器具有如下特点：小流量时（ｖ０＜１ｍ／......
5. 《全集成式流量传感器》PDF+DOC 我们首次研制出恒定芯片温度(CCT)式集成流量传感器后进行了有关该传感器的性能改善和实用化方面的工作。本文介绍把外接电阻和取样电阻等外接元件均集成在一个芯片上的全集成式流量传感器。 CCT型流量传感器共三大部分(在同一芯片上)，其中A表示运放。流体流过芯片...
6. 《CMOS集成硅流量传感器》PDF+DOC 本文介绍了一种流量传感器新的工作原理：当流体流过加热的芯片时，为保持芯片温度恒定所需功耗的改变，可以用来作为流体速度的量度。本文用CMOS工艺首次实现了这种原理的集成流量传感器。该传感器结构简单、尺寸小(1&#215；1.9mm)，灵敏度高(在芯片温度55℃、流体温度30℃、流速50cm/s......
7. 《硅热流量传感器封装的热模拟分析》PDF+DOC 针对硅热流量传感器的封装 ，给出了其一维简化理论模型 ，并采用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ，建立了该封装结构的热模型 .模拟结果显示 ，该封装后的传感器的温度场与未封装传感器相似 ，证明陶瓷封装结构是可行的 ；同时比较了封装前后传感器性能的差异 ，并进一步分析了传感器的热性能和其特征尺......
8. 《集成微沟道空气流量传感器的动态特性》PDF+DOC 研究集成微沟道空气流量传感器的动态特性，定性分析了传感器动态特性的影响因素；并动态模拟了有正脉冲和负脉冲气流时上下游的温度随时间的变化关系，得到正负脉冲下横膈膜上温度稳定所需要的时间分别约为1.1 ms和1.5 ms。在实验中，测试了正负脉冲气流下，输出电压的完全响应时间分别为1.2 ms和1.5 ......
9. 《一种新型恒温恒流大气采样方法的研究》PDF+DOC 本文阐述了一种新型恒温恒流大气采样方法。恒流部分采用流量传感器和ＰＩ控制模式，组成无差调节系统，实现了２００ｍｌ／ｍｉｎ小流量气体的精确控制；恒温部分采用半导体制冷元件，结合反馈与前馈的复合控制模式，实现制冷温度的精确控制。脉冲宽度调制芯片与ＰＴＣ材料组合的方案在本方法中得到了成功的应用。...
10. 《一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作》PDF+DOC 根据微流量传感器测热式原理，利用Comsol多物理场模拟仿真软件，对微流量传感器进行模拟仿真，分析了流量传感器的关键参数对其灵敏性的影响.在此基础上，设计了一种集成在微流体管道内的微流量传感器.以离子束刻蚀方法制作微电极，SU-8负光刻胶直接制作流道，将该负光刻胶与聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行键合......