作者:李金华,孙慷,蒋美萍,周倜,冒建军,焦继传,陆德仁,王渭源 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》1995年第02期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS1995020100 DOC编号:DOCCGJS1995020109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采取BESOI技术形成带真空腔的绝压式结构,利用凸型梁使形变膜的应力放大,研制出在电源电压5V时,具有输出灵敏度为257.4mV/10~5Pa的绝压式负压传感器芯片.其非线性度约0.1%,未加负压时,输出电压的温漂约400×10~(-6)/℃(FS)。

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