《绝压式BESOI负压传感器研制》PDF+DOC
作者:李金华,孙慷,蒋美萍,周倜,冒建军,焦继传,陆德仁,王渭源
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》1995年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS1995020100
DOC编号:DOCCGJS1995020109
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《BESOI压力传感器的研制》PDF+DOC1995年第02期 李金华,孙慷,蒋美萍,冒建军,焦继伟,陆德仁
《CS系列线性霍尔电流传感器及其应用》PDF+DOC2000年第08期 易明銧
《传感器电桥电路非线性误差的反馈补偿法》PDF+DOC1990年第06期 王欧海
《横向电压型压力传感器电极短路效应》PDF+DOC1988年第01期 齐薇佳,鲍敏杭
《压阻式绝对压力传感器的研制》PDF+DOC1989年第02期 张秀珍,赵忠富,武树岭
《电热激励微悬臂梁谐振器输出电压影响因素研究》PDF+DOC2003年第04期 韩建强,朱长纯,刘君华,魏培永
《磁性液体加速度传感器的输入输出特性实验》PDF+DOC2011年第04期 李强,李德才,何新智,蔡玉强,李凤
《一种电容式加速度传感器的温度补偿电路》PDF+DOC2010年第05期 李慧武,刘文怡,马喜宏
《高性价比电子标准电池》PDF+DOC 刘会星
《一种热释电红外传感器控制芯片的设计》PDF+DOC2006年第04期 胡锦,曾宏博,凡金湘
采取BESOI技术形成带真空腔的绝压式结构,利用凸型梁使形变膜的应力放大,研制出在电源电压5V时,具有输出灵敏度为257.4mV/10~5Pa的绝压式负压传感器芯片.其非线性度约0.1%,未加负压时,输出电压的温漂约400×;10~(-6)/℃(FS)。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。