《微电子制造科学与技术研究计划中的单圆片加工设备》PDF+DOC
作者:方向
单位:四川固体电路研究所
出版:《微电子学》1995年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFMINI503.0120
DOC编号:DOCMINI503.0129
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《用于制造HgCdTe焦平面列阵的微电子制造科学技术的发展》PDF+DOC1996年第02期 J.D.Luttmer,高国龙
《采用逐场调平和总体对准技术的0.54NAi线片子步进机》PDF+DOC1997年第01期
《基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究》PDF+DOC2007年第04期 张栋,李永红
由美国得州仪器(Tl)公司实施的微电子制造科学与技术计划全面采用了一种灵活的单圆片加工技术,该技术适合快周期的IC生产,且投资少,灵活性高。他们设计的实验型单圆片小型工厂包含34个具有各种不同的工艺能源组合和现场监测与控制传感器的单圆片处理系统;采用模块化系统(大多为先进真空处理器(AVP))进行了40种不同的器件制造工艺实验;真空片盒在洁净环境中传递圆片;AVP由计算机综合制造(CIM)系统驱动和监督。已经开发出用于典型的0.35μmCMOS工艺所需的全部热加工步骤的快速热处理(RTP)AVP。采用单圆片加工设备和全RTP处理实现了完整的工艺一体化并创造了制造周期仅为3天的纪录。
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