作者：吴桂英 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1994年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1994100020 DOC编号：DOCGJDX1994100029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 通常用光学干涉仪进行高精度尺寸测量。在某些测量中要求干涉仪体积小、稳定性高、坚固耐用。为了探测运动方向，必须对以往的干涉仪进行改进。有两种可解决问题的方法，其一，用集成光学技术在硅片上制作双迈克尔逊干涉仪。其二，在单片上的单迈克尔逊干涉仪采用了自差调制和解调技

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