作者：严百平,朱秉升 单位：西安交通大学 出版：《西安交通大学学报》1995年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXAJT504.0030 DOC编号：DOCXAJT504.0039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究了利用ＶＥＴＯ技术获得的一种新的Ｓｎ－ＳｎＯｘ电阻式薄膜湿度传感器；湿敏薄膜包含β－Ｓｎ、ＳｎＯ和ＳｎＯ２态，ＳＥＭ观察表明，孔尺寸在０．１～０．５μｍ之间的表面结构对应着高性能的湿度传感器，环境湿度从１１％～９７％ＲＨ的变化过程中，传感器阻抗变化约三个量级，传感器具有小子３０ｓ的恢复时间。

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