作者：胡幸鸣,叶志镇 单位：浙江省机电集团有限公司;浙江大学 出版：《机电工程》1995年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJDGC504.0200 DOC编号：DOCJDGC504.0209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文分析了微机电系统的特点与先进性，着重介绍了美国麻省理工学院（ＭＩＴ）在微机电系统与技术方面具有国际先进水平的研究成果。

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