作者：赵轶卓 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2015年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2015030140 DOC编号：DOCYDSG2015030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 给出了一种硅微机械陀螺制造方法，该方法可适用于各种不同的微机电系统(MEMS)器件，包括加速度计、剪切应力传感器及MEMS光开关等。利用该方法制备了硅微机械陀螺，并给出了该陀螺的性能测试结果。同时分析了利用该方法制备各种不同器件时，工艺流程对器件性能的影响，重点讨论了硅-玻璃阳极键合、减薄工艺及深刻蚀所形成的侧壁质量，包括侧壁垂直度、侧壁杂质等因素对器件性能的影响。

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