作者：高晓萍 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1995年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1995050010 DOC编号：DOCGJDX1995050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 就加工技术而言，有硅的微细机械加工技术，利用X射线的LIGA工艺技术，切削等传统的机械加工技术，放电加工，立体刻蚀，利用光束的加工技术，光造形法等.在众多的加工技术中，绝大多数利用硅的微细机械加工技术.硅加工技术有10年的历史，它可分为表面微机械加工和主体微机械加工两种，并且在传感器领域正得到许多应用。

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