作者：丁纯,金仲和,喻浩,徐义刚,王跃林 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》1998年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB803.0230 DOC编号：DOCGXXB803.0239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种新颖的全光型硅微机械流量传感器。给出该传感器结构及工作原理的理论分析，并阐述传感器样品的测试及结果。流量传感器具有带脊型波导的悬臂梁结构。悬臂梁用作器件的敏感区，而检测光束可以在脊型波导中传输。

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