《提高敏感器件性能的措施》PDF+DOC
作者:刘显战,张书刚,张巧云,钟青
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》1994年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG403.0060
DOC编号:DOCYDSG403.0069
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本文从影响敏感器件性能的主要弱点着手,采取扩大和加深振梁节点孔径的设计方案。实验结果表明采用此方案研制的敏感器件,其读出、阻尼面的增益和Q值有明显提高。
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