《一种新型绝对高真空压力规结构的设计》PDF+DOC
作者:朱长纯,王海笑
单位:西安交通大学
出版:《西安交通大学学报》1995年第01期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXAJT501.0040
DOC编号:DOCXAJT501.0049
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首次提出了一种以直接对气体分子进行计数来测量高真空度的新型压力规─—绝对高真空压力规(AbsoluteHighVacuumPressureGauge简称AHVPG).我们引入并研究了三种结构,分别为膜片式结构、悬臂梁和简梁结构,并对这三种结构的AHVPG在单个分子的碰撞时的挠度进行了计算与比较,指明了悬臂梁结构的灵敏度最高、最易实现。并设计了其制造工艺,文中我们还推导了一个有关气体分子通量的重要公式。
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