作者：张洪泉 ,王兵 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1990年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1990040080 DOC编号：DOCCGQJ1990040089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 应用热传导率低的薄玻璃片为衬底研制成了两种微型热流量传感器，其中一种流量传感器可测流速和温度，而另一种传感器可测流速和方向。其制造工艺并不是简单地利用基片刻蚀技术，而是用溅射方法在玻璃衬底上沉积形成三个铂薄膜电阻，它们分别是微加热器、加热器温度控制器、温度传感器。这两种新型片式传感器能够很精确、灵敏地测出流体速度和流体方向。

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