作者：李伟,李杰超,闫卫平 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2015年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2015020020 DOC编号：DOCCGJS2015020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《测量流速流向的微型片式流量传感器》PDF+DOC1990年第04期 张洪泉 ,王兵 《金属薄膜加热器的研究》PDF+DOC2004年第04期 闫卫平,朱剑波,马灵芝,杜立群 《加速度传感器在气体微流量检测中的应用》PDF+DOC2007年第04期 林引,谢昭莉,陈皎 《MEMS热膜式微流量传感器》PDF+DOC2013年第07期 侍艳华,何秀丽,高晓光,贾建,李建平 《用于光气动探测的微流量传感器》PDF+DOC2013年第03期 赵永翠,何秀丽,赵玲,李建平,高晓光,贾建 《微机化热式气体质量流量计的研制》PDF+DOC1990年第03期 吴勤勤,秦愉,郁月富,宋志庆 《气体流量传感器的结构、原理及其在呼吸机中的应用》PDF+DOC2005年第03期 林慧琼,刘坤涛 《硅热流量传感器封装的热模拟分析》PDF+DOC2005年第02期 高冬晖,秦明,黄庆安 《基于SPCE061A的PCR芯片温度控制系统的设计》PDF+DOC2011年第06期 廖明城,廖红华,王骏,于军 《MEMS热膜式微型流量传感器的研制》PDF+DOC2010年第04期 徐永青,吕树海,徐爱东,徐淑静

    • 为了探索平板微热管的传热特性，了解微热管内不同温度区间的蒸汽传输特性，开展了热式气体微流量传感器及其检测系统的设计。设计了一种便于探索最佳温度测量点的热式微流量传感器结构，利用MEMS工艺进行加工制作，在不同环境温度下对其性能进行了测试，得到了环境温度与热式微流量传感器性能的关系。基于MSP430单片机和C#语言自主开发了流量传感器检测系统，可对一定范围内的流量进行实时检测，并实时绘制流速随时间的变化曲线。研究表明，采用本文设计的热式微流量传感器结构，可以检测高于室温环境下的微流量气体，并可通过提高加热器温度或改变测温电阻对的测量位置来提高测量灵敏度。

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