作者：张桂成 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1992年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1992010070 DOC编号：DOCCGJS1992010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 近年来，国内力学量传感器的研究与应用已有较大进展，研究内容不断深入，研究范围不断拓宽，器件结构新颖，性能与可靠性有所提高，使应用领域再行扩大.本文分别以半导体力敏传感器、金属及其薄膜材料在力敏中的应用、陶瓷材料力敏元器件和光纤压力传感器为例，对近一、二年发展起来的力敏传感器予以分析和介绍。

    📙 相关资料

    1. 《用于苛刻环境条件下的传感器的现状和发展趋势》PDF+DOC 简要介绍了用于苛刻环境条件下的传感器的种类，包括力学量传感器、温度传感器、气体传感器、光纤传感器等；对这类传感器的市场状况、目前的研制现状及未来发展趋势等也作了相应介绍。...
    2. 《工业变送器用75系列扩散硅压力传感器》PDF+DOC 介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ；其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ；测量范围为 0 6kPa～ 5 0MPa；使用温区为 - 3...
    3. 《皇冠3.0轿车进气歧管压力传感器的原理与检修》PDF+DOC 进气歧管压力传感器又叫压感式空气流量计，是博世(Bosch)D型燃油喷射系统的重要部件。皇冠3.0轿车的2JZ-GE型电喷发动机采用了这种压力传感器。 工作原理 进气歧管压力传感器的内部结构如图1所示。压力转换元件是用半导体的压阻效应制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室，另一面导入进气歧管的真空。硅膜......
    4. 《硅压力传感器研究现状》PDF+DOC 论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景...
    5. 《日受青睐的陶瓷压力传感器》PDF+DOC 本文简要介绍陶瓷传感器的结构特性及其解决困难场合压力测量的现状及前景。...
    6. 《S型双声路声表面波质量传感器》PDF+DOC 报道了在128&#176；Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为122MHz的S型双声路质量传感器，它能有效地克服环境温度的影响。阐述了该传感器的器件结构及设计，并采用延迟线振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明，该器件相对温度系数良好，仅约为10Hz/&#......
    7. 《基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器》PDF+DOC 研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems，MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯，其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法，降低硅敏感膜片弯......
    8. 《传感器信号调理器的选择》PDF+DOC 在选择传感器信号调理器时有一些需要重点考虑的因素，如是否易于集成和开发，器件性能、输入输出要求如何，工作环境和成本等。Maxim针对这些因素，特别设计了多款传感器信号链路产品，有助于节省开发时间。针对压力传感器的高精度模拟信号调理器，Maxim提供了模拟信号通路产品MAX1452，该产品能够利用查找......
    9. 《硅玻璃阳极键合绝压压阻式压力传感器中的残余应力》PDF+DOC 硅玻璃阳极键合技术因键合强度高，工艺简单而成为低成本绝压压力传感器的主要封装技术。但由于常规的硅玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行且材料之间不可避免的热膨胀系数失配将产生较大的残余应力。实验采用有限元方法对硅玻璃阳极键合进行了系统的力学分析以减小残余应力对器件性能的影响。实验中采用硅玻璃阳极键合......
    10. 《元器件》PDF+DOC 面向直接和充油传感系统的功能强大的MEMS压力传感器迈来芯公司推出两款结合了高灵敏度和高线性度特性的全新压力传感器产品MLX90815和MLX90816，它们是分立式微机电(MEMS)器件，完全符合汽车级(超过AEC-Q100的要求)应用要求，可用于在苛刻的工作环境下测量绝对压力。MLX90815在......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。