作者：蔡萍,沈生培 单位：上海交通大学 出版：《上海交通大学学报》1993年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSHJT1993010090 DOC编号：DOCSHJT1993010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍电荷平衡式电容传感器位移测量系统的原理、结构和系统设计。本系统采用特殊设计的三积分A/D转换器，使仪器的分辨率达二十五万分之一，采样速率达50次/s以上。本文对传感器、三积分A/D转换器等关键部分均作了详细分析和设计。

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