作者:陈翠萍,蒋波,谢光忠,蒋亚东 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2005年第10期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2005100010 DOC编号:DOCYBJS2005100019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 通过对湿敏材料—聚酰亚胺(PI)的湿敏机理的分析,设计了高分子电容式湿度传感器的芯片结构,并对其制作工艺进行了详细讨论。在此基础上,对传感器变送电路进行了研究,设计了以双时基电路为主的信号处理电路,并最终制备出了输出电压随环境相对湿度线性变化的湿度传感器。对湿度传感器的湿敏特性的测试表明:在1.82%~91.04%RH范围内,带湿度处理电路的湿度传感器输出的信号与环境的相对湿度成线性变化,电路能对湿度电容输出电容量进行放大。

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