作者：陈怀溥,曹子祥,王思杰,金增林,罗新宝 单位：西北大学 出版：《西北大学学报(自然科学版)》1992年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXBDZ1992020060 DOC编号：DOCXBDZ1992020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 多晶硅压阻压力传感器是一种正在研制的新型传感器。本文介绍了作者在这方面的研制工作，列出了一些有关工艺实验数据及器件性能的测试结果。其主要参数，灵敏度：10.27mV/kg/cm~2；灵敏度温度系数：约10~(-4)F&#183；S/℃，由此来看，多晶硅压力传感器与单晶压力传感器性能近似。要得到温度特性好，特别是高温性能好的器件，还有待于进一步的工作。

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