作者:陈庆贵,史日华,滕征杰,许和平 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《半导体技术》1990年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTJ1990040070 DOC编号:DOCBDTJ1990040079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0~20MPa,工作温度-55°~300℃,精度0.2~0.5%,满度输出100±20mV,平均寿命(MTTF)≥1×10~6次。

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