作者：于泓涛 单位：陕西鼓风机（集团）有限公司 出版：《工业仪表与自动化装置》1982年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGYZD1982010020 DOC编号：DOCGYZD1982010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 固态压力传感器具有许多优点，主要是灵敏度高、动态响应快、精度高、易于小型化等等。因此，目前在这几个方面发挥它的特长都取得了良好的结果。如国外小型固态压力传感器直径已达到φ0.8mm，扁平厚度达到 1mm；动态传感器其固有频率可达到1000KHz；高精度传感器已达到0.02%。国内也正向这几个方向发展。本文介绍一种绝对式固态压力传感器。为适应低真空测量的要求，将相对式固态压力传感器引入一个标准压力腔，做成绝对式压力传感器是十分必要的，这对于大气测量、真空技术、航空和宇航都很需要。

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