《用沉积锰薄膜作为应变计的压力传感器》PDF+DOC
作者:李宗禄
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1993年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1993010140
DOC编号:DOCYBJS1993010149
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本文介绍了用沉积锰薄膜作应变计的压力传感器的特性、膜片组件的结构、膜片上的绝缘层、锰敏感应变计、焊接点、应变计上保护层的沉积方法、膜片稳定性处理以及压力传感器的输出特性曲线等。
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