作者：马素琳 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1990年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1990010140 DOC编号：DOCYBJS1990010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、前言 作者开发了一种精度超1nm的非接触式光学平面传感器，其原理是依据焦点探测技术。这种焦点技术，已在光盘检测中使用。焦点探测选用全反射临界角法，这种方法使反射围绕临界角急剧变化。高精度光学平面传感器，能提高灵敏度；消除其它毫微米级表面粗糙度仪测量中的一些误差。它的光学头尺寸只有45&#215；30&#215；65 mm，因此可以和金刚石触针并排安装在表面

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