《高精度光学表面传感器》PDF+DOC
作者:Tsuguo Kohno,马素琳
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1990年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1990030040
DOC编号:DOCXDJL1990030049
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1.前言随着科学技术,精密工程及工业的进步,机械零件表面粗糙度测量变得越加重要。虽然触针式表面轮廓仪已被广泛地作为表面测量仪器,但为了解决软金属,薄膜或硅单晶的表面无划伤测量的需要,非接触式表面传感器将会有很大的发展。目前已发展了许多光学表面轮
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