作者:Tsuguo Kohno,马素琳 单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版:《中国检验检测》1990年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFXDJL1990030040 DOC编号:DOCXDJL1990030049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 1.前言随着科学技术,精密工程及工业的进步,机械零件表面粗糙度测量变得越加重要。虽然触针式表面轮廓仪已被广泛地作为表面测量仪器,但为了解决软金属,薄膜或硅单晶的表面无划伤测量的需要,非接触式表面传感器将会有很大的发展。目前已发展了许多光学表面轮

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