作者：茅盘松,朱静远,华俊歧 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1993年第05期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1993050020 DOC编号：DOCCGQJ1993050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用开关电容技术的Boxcar(时域平均)积分原理设计，为测量电容式压力传感器的微电容的接口电路已提出。它由Boxcar积分器，锁存器，脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。该接口电路，采用3μm P-阱CMOS双层多晶硅栅工艺研制，管芯面积为2.5mm&#215；3.5mm.测试结果表明，接口电路具有较好的灵敏度，它能将硅集成电容式压力(加速度)传感器集成在同一芯片上，实现一体化。

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