作者：肖小霞,魏榕山 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2019年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2019050090 DOC编号：DOCJCDI2019050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文提出了一个电容式湿度传感器的读出电路，实现对湿度电容信号到数字信号的转换，即电容数字转换器(CDC)。该CDC采用Sigma-Delta调制技术进行电容信号的转换，同时采用Zoom-i n技术，减少参考电容的大小，扩展电容测量范围。本设计采用SMI C 0. 18μm CMOS工艺，电源电压为1. 8 V，采样时钟频率为250 KHz。仿真结果表明该调制器精度达到13 bi t，整个调制器共消耗电流为180μA，输入电容的共模范围为0-8pF，动态范围为-0. 26 pF～+0. 26 pF。

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