作者：晋琦,鲍敏杭,王言,周昊 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》1991年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU1991020050 DOC编号：DOCDZXU1991020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构，并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明，该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。

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