作者:古启伦 单位:汕头大学 出版:《汕头大学学报(自然科学版)》1987年第01期 页数:9页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSTDX1987010080 DOC编号:DOCSTDX1987010089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文叙述压力传感器的核心部件——扩散硅力敏器件的机理、制造方法。

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