作者:李刚 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1993年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS1993010010 DOC编号:DOCYBJS1993010019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文从压阻效应理论、力学结构及有关微电子工艺理论等几个方面,总结了国内外单晶硅压阻式压力传感器技术的发展及其计算化辅助分析和设计工具的发展,提出了固态压阻式压力传感器计算机辅助分析和设计软件系统的体系结构,阐述了固态压阻式压力传感器的数值分析方法,传感器设计参数的容差分析与设计等方法,并讨论了有关设计问题。

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