作者：郑丹,李昕欣 单位：沈阳化工大学 出版：《沈阳化工大学学报》1993年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYHY1993020040 DOC编号：DOCSYHY1993020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种新颖的采用硅的各向异性化学腐蚀工艺形成压力传感器的技术.给出了各向异性腐蚀的机理，报告了三种不同腐蚀液(KOH，EPW，TMAH)的腐蚀工艺及实验结果.并结合腐蚀技术介绍了硅电容压力传感器的制作工艺。

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