作者：孙国梁 ,MasgyoshiEsashi 单位：东南大学 出版：《电子器件》1990年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1990030140 DOC编号：DOCDZQJ1990030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在硅片上集成微形阀门和流量传感器有许多优点.例如，可忽略的死区、流量传感器的快速响应和小尺寸.一个集成的流量控制器，其有正常的常开微形阀门和微形流量传感器，响应速度达10毫秒~1.将一个常闭的微形阀门、一个三通阀门和微形流量传感器制备在硅片上，便可作为一高级的集成微形流量控制系统。

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