作者:庞江涛,战长青,刘理天 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1998年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS803.0000 DOC编号:DOCYBJS803.0009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微流量泵与微流量传感器的系统集成》PDF+DOC1998年第02期 庞江涛,战长青,谭智敏,钱欣,刘理天,李志坚 《硅集成微型泵系统的优化设计和兼容工艺研究》PDF+DOC1999年第S1期 庞江涛,刘理天,李志坚 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC2009年第12期 郭然,陈德勇,王军波 《OXYMAT6E型氧分析仪的应用》PDF+DOC2001年第05期 叶龙岩 《集成微形流量控制系统(特邀报告)》PDF+DOC1990年第03期 孙国梁 ,MasgyoshiEsashi 《一种新型无磁流量表的研究》PDF+DOC2005年第12期 张国恒,马书懿,魏秀芳,白仲明 《硅基热流式微流量传感器研究》PDF+DOC2004年第03期 席文柱,闫卫平,马灵芝,牛德芳 《基于集成技术的智能液压传感器》PDF+DOC2004年第05期 鲁冬林,李永新,谭业发 《加速度传感器在气体微流量检测中的应用》PDF+DOC2007年第04期 林引,谢昭莉,陈皎 《MEMS热膜式微流量传感器》PDF+DOC2013年第07期 侍艳华,何秀丽,高晓光,贾建,李建平
  • 根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点,本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能,并且制作工艺简单,为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。