作者：白聘修 单位：辽宁省机械研究院 出版：《机械设计与制造》1993年第05期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSYZ1993050180 DOC编号：DOCJSYZ1993050189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 薄膜件是传感器的一个敏感元件，它之所以难以加工，主要是薄膜厚度为δ=0.1_(-0.01)~(+0.04)，δ=0.2_(-0.05) 不好保证。况且材料为1C_(r18) Ni_9Ti的不导磁的不锈钢。是一种镍铬不锈钢的典型材料。在切削加工中切屑变形大，相应的切削力也大，而导热性较差。

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