作者:李琦,武文革,李学瑞,范鹏 单位:机械部北京机械工业自动化研究所 出版:《制造业自动化》2013年第15期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJXGY2013150320 DOC编号:DOCJXGY2013150329 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《康铜薄膜测力传感器的模型设计》PDF+DOC2014年第03期 李学瑞,武文革,成云平,李琦 《金刚石薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC2000年第08期 杨保和,常明,杨晓萍,呈晓国 《半导体压力传感器与微机的相接》PDF+DOC1998年第04期 《压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析》PDF+DOC1995年第04期 吴坚民,唐祯安,牛德芳 《带温度补偿的半导体集成压力传感器》PDF+DOC1987年第Z1期 陈怀溥,王思杰 《薄膜压力传感器研究》PDF+DOC1989年第06期 王志新,赵阳 《合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展》PDF+DOC2005年第12期 晏建武,周继承,鲁世强,田莉 《平膜片式压力传感器有限元分析》PDF+DOC2001年第02期 任钧国,王洪业,欧阳勇 《压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法》PDF+DOC2012年第02期 韩锐锐,张兆华,任天令,林惠旺,刘理天 《合金薄膜高温压力传感器研究进展》PDF+DOC2011年第05期 李伟,陈怀礼
  • 为研究康铜薄膜的压阻特性,建立了一个压阻式压力传感器模型。康铜薄膜压力传感器采用悬臂梁结构作为弹性元件,用有限元分析软件ANSYS12.0对传感器的静态特性进行了仿真分析。通过改变载荷大小研究了传感器的线性度,发现传感器线性度良好、灵敏度较高;分析了康铜薄膜层位置和薄膜厚度对传感器输出特性的影响,得出了薄膜位置对输出电压影响较大而薄膜厚度对输出电压影响较小的结论。

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