作者：三上善秋,胡风 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1993年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1993030050 DOC编号：DOCXDJL1993030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在使用光学平晶测量小工件的平面度时，如以激光作光源则其分辨率可达0.3μm左右。采用激光干涉方式的测量设备价格非常昂贵，通常是不用的。而且这些方式都要求工作的被测面是镜面。在大型工件的测量方面则使用近年来已趋普及的三坐标测量机，大多是用接触式测头，即

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